真空耙式干燥機是干燥材料中的游離水。游離水可分為間隙水，地表水，毛細水和包裹水..在干燥過程中，首先，熱源將熱能傳遞給物料，使物料升溫蒸發水分；其次，蒸發水分遷移到干燥室空間，使水分從物料表面分離出來，從干燥室排出；第三，物料中的水分以液態移動到物料表面，以便于物料在表面蒸發。

真空耙式干燥器是三個過程的伴隨和協調，其協調的好壞，直接影響真空干燥速度和物料的質量。在真空干燥箱中對工件進行抽真空的目的是除去從工件材料中提取的氣體成分。如果先加熱工件，加熱時氣體膨脹..由于真空箱密封性能好，膨脹氣體產生的巨大壓力可能導致觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。

按照先抽真空后加熱的程序操作真空耙式干燥機可以避免這種危險。加熱的氣體被導向真空壓力表，這會產生溫升。如果溫升超過真空壓力表規定的溫度范圍，可能導致真空壓力表的指示誤差。